PECVD射频模块：PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109--1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学物质，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单，与传统CVD系统比较，生长温度更低，管辉光均匀等效，薄膜均匀沉积。

PECVD射频模块技术资料

型号

KT--PE150S

KT-PE500Z

信号频率

13.56MHᴢ±0.005%

功率输出范围

0-150W

0-500W

功率稳定度

≤5W

反射功率

40W

射频输出接口

7/16 female 50 Ω

功率稳定度

≤5W

匹配方式

手动调节匹配

500W自动匹配

耦合方式

电感式耦合

辉光压力

≤30Pa

供电电压

AC220V±10% 50/60Hᴢ

整机效率

≥70%

冷却方式

强制风冷

支持炉管直径

Φ25mm--φ80mm

Φ25mm--150mmφ

感应区

210mm

整机重量

48KG

整机尺寸:H×W×D(mm)

600×600×1100