全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和性。已获得专利的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。

全自动光谱椭偏仪 - 产品特点

全自动样品校准

高测量速率 < 8秒

消除了全波段范围内的盲点

可测量透明和吸收基底

高测量精度

具有实验数据和模拟数据三维绘图功能

友好的软件界面，强大数据分析功能

具有实验数据和模拟数据三维绘图功能

光谱椭偏仪 - 技术指标

光源：氙灯

光斑直径：1-3mm

入射角范围：20°到90°自动控制

波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°

波长精度：1nm

测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）

入射角度精度：0.01

光谱椭偏仪 - 可选配

CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm

样品显微镜

高稳定性消色差补偿器

透射测量架

XY移动样品台

光谱椭偏仪 - 典型客户

美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。